F. Beaudoin, Michel Meunier
, M. Simard-Normandin, D. Landheer
Article de revue (1998)
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Renseignements supplémentaires:
Nom historique du département: Département de génie physique et de génie des matériaux
Département:
Unité de recherche:
Adresse URL de PolyPublie:
Titre de la revue
:
Journal of vacuum science and technology. A, Vacuum, surfaces, and films
(
vol.
16
,
no
3
)
Maison d'édition:
American Vacuum Society
DOI:
URL officielle:
OAI:
oai:publications.polymtl.ca:29865
ORCID
Date du dépôt:
18 avr. 2023 15:22
Dernière modification:
14 oct. 2026 13:07
Citer en APA 7:
Beaudoin, F., Meunier, M., Simard-Normandin, M., & Landheer, D. (1998). Excimer Laser Cleaning of Silicon Wafer Backside Metallic Particles. Journal of vacuum science and technology. A, Vacuum, surfaces, and films, 16(3), 1976-1979. https://doi.org/10.1116/1.581206
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