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Laser cleaning for microelectronics

Michel Meunier, S. Boughaba, X. Wu, F. Beaudoin, Edward Sacher et M. Simard-Normandin

Communication écrite (1998)

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Renseignements supplémentaires: Nom historique du département: Département de génie physique et de génie des matériaux
Département: Département de génie physique
URL de PolyPublie: https://publications.polymtl.ca/29477/
Nom de la conférence: 5th ACS Congress of North America
Date(s) de la conférence: 1998-01-01 - 1998-12-31
Date du dépôt: 18 avr. 2023 15:23
Dernière modification: 05 avr. 2024 11:18
Citer en APA 7: Meunier, M., Boughaba, S., Wu, X., Beaudoin, F., Sacher, E., & Simard-Normandin, M. (janvier 1998). Laser cleaning for microelectronics [Communication écrite]. 5th ACS Congress of North America.

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