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Diamond Nucleation Enhancement by Pretreating the Silicon Substrate With a Fluorocarbon Plasma

S. Schelz, Ludvik Martinu et M. Moisan

Article de revue (1998)

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Renseignements supplémentaires: Nom historique du département: Département de génie physique et de génie des matériaux
Département: Département de génie physique
URL de PolyPublie: https://publications.polymtl.ca/29335/
Titre de la revue: Diamond and Related Materials (vol. 7, no 9)
Maison d'édition: Elsevier
DOI: 10.1016/s0925-9635(98)00191-5
URL officielle: https://doi.org/10.1016/s0925-9635%2898%2900191-5
Date du dépôt: 18 avr. 2023 15:23
Dernière modification: 25 sept. 2024 16:10
Citer en APA 7: Schelz, S., Martinu, L., & Moisan, M. (1998). Diamond Nucleation Enhancement by Pretreating the Silicon Substrate With a Fluorocarbon Plasma. Diamond and Related Materials, 7(9), 1291-1302. https://doi.org/10.1016/s0925-9635%2898%2900191-5

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