Diamond Nucleation Enhancement by Pretreating the Silicon Substrate With a Fluorocarbon Plasma

S. Schelz, Ludvik Martinu, M. Moisan

Article de revue (1998)

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Renseignements supplémentaires:
Nom historique du département: Département de génie physique et de génie des matériaux
Adresse URL de PolyPublie:
Titre de la revue :
Diamond and Related Materials ( vol. 7 , no 9 )
Maison d'édition:
Elsevier
OAI:
oai:publications.polymtl.ca:29335
ORCID
Date du dépôt:
18 avr. 2023 15:23
Dernière modification:
14 oct. 2026 13:06
Citer en APA 7:
Schelz, S., Martinu, L., & Moisan, M. (1998). Diamond Nucleation Enhancement by Pretreating the Silicon Substrate With a Fluorocarbon Plasma. Diamond and Related Materials, 7(9), 1291-1302. https://doi.org/10.1016/s0925-9635%2898%2900191-5

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