Metallic contamination from wafer handling

Félix Beaudoin, Martine Simard-Normandin, Michel Meunier

Communication écrite (1997)

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Renseignements supplémentaires:
Nom historique du département: Département de génie physique et de génie des matériaux
Adresse URL de PolyPublie:
Nom de la conférence:
Advanced Workshop on Silicon Recombination Lifetime Characterization Methods
Lieu de la conférence:
Santa Clara, CA, USA
Date(s) de la conférence:
1997-06-02 - 1997-06-03
Maison d'édition:
ASME
OAI:
oai:publications.polymtl.ca:29137
ORCID
Date du dépôt:
18 avr. 2023 15:22
Dernière modification:
14 oct. 2026 13:06
Citer en APA 7:
Beaudoin, F., Simard-Normandin, M., & Meunier, M. (juin 1997). Metallic contamination from wafer handling [Communication écrite]. Advanced Workshop on Silicon Recombination Lifetime Characterization Methods, Santa Clara, CA, USA. https://doi.org/10.1520/stp15707s

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