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Metallic contamination from wafer handling

Félix Beaudoin, Martine Simard-Normandin et Michel Meunier

Communication écrite (1997)

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Renseignements supplémentaires: Nom historique du département: Département de génie physique et de génie des matériaux
Département: Département de génie physique
URL de PolyPublie: https://publications.polymtl.ca/29137/
Nom de la conférence: Advanced Workshop on Silicon Recombination Lifetime Characterization Methods
Lieu de la conférence: Santa Clara, CA, USA
Date(s) de la conférence: 1997-06-02 - 1997-06-03
Maison d'édition: ASME
DOI: 10.1520/stp15707s
URL officielle: https://doi.org/10.1520/stp15707s
Date du dépôt: 18 avr. 2023 15:22
Dernière modification: 08 avr. 2025 02:19
Citer en APA 7: Beaudoin, F., Simard-Normandin, M., & Meunier, M. (juin 1997). Metallic contamination from wafer handling [Communication écrite]. Advanced Workshop on Silicon Recombination Lifetime Characterization Methods, Santa Clara, CA, USA. https://doi.org/10.1520/stp15707s

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