M. Simard-Normandin, F. Beaudoin, Michel Meunier
Communication écrite (1998)
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Renseignements supplémentaires:
Nom historique du département: Département de génie physique et de génie des matériaux
Département:
Adresse URL de PolyPublie:
Nom de la conférence:
6th Symposium on particles on surfaces: Detection, Adhesion, Removal
Lieu de la conférence:
Dallas, TX
Date(s) de la conférence:
1998-04-01 - 1998-04-03
URL officielle:
OAI:
oai:publications.polymtl.ca:28584
ORCID
Date du dépôt:
18 avr. 2023 15:23
Dernière modification:
14 oct. 2026 13:05
Citer en APA 7:
Simard-Normandin, M., Beaudoin, F., & Meunier, M. (avril 1998). Metallic contamination from particles on the backside of wafers [Communication écrite]. 6th Symposium on particles on surfaces: Detection, Adhesion, Removal, Dallas, TX. https://books.google.ca/books?id=oaVM2CXi9IUC
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