M. Simard-Normandin, F. Beaudoin et Michel Meunier
Communication écrite (1998)
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| Renseignements supplémentaires: | Nom historique du département: Département de génie physique et de génie des matériaux |
|---|---|
| Département: | Département de génie physique |
| URL de PolyPublie: | https://publications.polymtl.ca/28584/ |
| Nom de la conférence: | 6th Symposium on particles on surfaces: Detection, Adhesion, Removal |
| Lieu de la conférence: | Dallas, TX |
| Date(s) de la conférence: | 1998-04-01 - 1998-04-03 |
| URL officielle: | https://books.google.ca/books?id=oaVM2CXi9IUC |
| Date du dépôt: | 18 avr. 2023 15:23 |
| Dernière modification: | 05 avr. 2024 11:16 |
| Citer en APA 7: | Simard-Normandin, M., Beaudoin, F., & Meunier, M. (avril 1998). Metallic contamination from particles on the backside of wafers [Communication écrite]. 6th Symposium on particles on surfaces: Detection, Adhesion, Removal, Dallas, TX. https://books.google.ca/books?id=oaVM2CXi9IUC |
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