<  Retour au portail Polytechnique Montréal

Interphase in Plasma-Deposited Silicon Nitride Optical Films on Polycarbonate: in Situ Ellipsometric Characterization

A. Bergeron, D. Poitras et Ludvik Martinu

Article de revue (2000)

Un lien externe est disponible pour ce document
Renseignements supplémentaires: Nom historique du département: Département de génie physique et de génie des matériaux
Département: Département de génie physique
URL de PolyPublie: https://publications.polymtl.ca/28353/
Titre de la revue: Optical Engineering (vol. 39, no 3)
Maison d'édition: SPIE - International Society for Optical Engineering
DOI: 10.1117/1.602433
URL officielle: https://doi.org/10.1117/1.602433
Date du dépôt: 18 avr. 2023 15:21
Dernière modification: 05 avr. 2024 11:16
Citer en APA 7: Bergeron, A., Poitras, D., & Martinu, L. (2000). Interphase in Plasma-Deposited Silicon Nitride Optical Films on Polycarbonate: in Situ Ellipsometric Characterization. Optical Engineering, 39(3), 825-831. https://doi.org/10.1117/1.602433

Statistiques

Dimensions

Actions réservées au personnel

Afficher document Afficher document