Interphase in Plasma-Deposited Silicon Nitride Optical Films on Polycarbonate: in Situ Ellipsometric Characterization

A. Bergeron, D. Poitras, Ludvik Martinu

Article de revue (2000)

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Renseignements supplémentaires:
Nom historique du département: Département de génie physique et de génie des matériaux
Adresse URL de PolyPublie:
Titre de la revue :
Optical Engineering ( vol. 39 , no 3 )
Maison d'édition:
SPIE - International Society for Optical Engineering
OAI:
oai:publications.polymtl.ca:28353
ORCID
Date du dépôt:
18 avr. 2023 15:21
Dernière modification:
14 oct. 2026 13:04
Citer en APA 7:
Bergeron, A., Poitras, D., & Martinu, L. (2000). Interphase in Plasma-Deposited Silicon Nitride Optical Films on Polycarbonate: in Situ Ellipsometric Characterization. Optical Engineering, 39(3), 825-831. https://doi.org/10.1117/1.602433

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