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Focusing Method and Apparatus for High-Resolution Projection Patterning

D. Popovici et Michel Meunier

Article de revue (2001)

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Renseignements supplémentaires: Nom historique du département: Département de génie physique et de génie des matériaux
Département: Département de génie physique
URL de PolyPublie: https://publications.polymtl.ca/27120/
Titre de la revue: Review of Scientific Instruments (vol. 72, no 2)
Maison d'édition: American Institute of Physics
DOI: 10.1063/1.1340019
URL officielle: https://doi.org/10.1063/1.1340019
Date du dépôt: 18 avr. 2023 15:21
Dernière modification: 25 sept. 2024 16:07
Citer en APA 7: Popovici, D., & Meunier, M. (2001). Focusing Method and Apparatus for High-Resolution Projection Patterning. Review of Scientific Instruments, 72(2), 1435-1437. https://doi.org/10.1063/1.1340019

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