Focusing Method and Apparatus for High-Resolution Projection Patterning

D. Popovici, Michel Meunier

Article de revue (2001)

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Renseignements supplémentaires:
Nom historique du département: Département de génie physique et de génie des matériaux
Adresse URL de PolyPublie:
Titre de la revue :
Review of Scientific Instruments ( vol. 72 , no 2 )
Maison d'édition:
American Institute of Physics
OAI:
oai:publications.polymtl.ca:27120
ORCID
Date du dépôt:
18 avr. 2023 15:21
Dernière modification:
14 oct. 2026 13:02
Citer en APA 7:
Popovici, D., & Meunier, M. (2001). Focusing Method and Apparatus for High-Resolution Projection Patterning. Review of Scientific Instruments, 72(2), 1435-1437. https://doi.org/10.1063/1.1340019

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