P. Cova, Rémo A. Masut
, Olivier Grenier et Suzie Poulin
Article de revue (2002)
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| Département: | Département de génie physique |
|---|---|
| Centre de recherche: | GCM - Groupe de recherche en physique et technologie des couches minces |
| URL de PolyPublie: | https://publications.polymtl.ca/26715/ |
| Titre de la revue: | Journal of Applied Physics (vol. 92, no 1) |
| Maison d'édition: | American Institute of Physics |
| DOI: | 10.1063/1.1483902 |
| URL officielle: | https://doi.org/10.1063/1.1483902 |
| Date du dépôt: | 18 avr. 2023 15:20 |
| Dernière modification: | 08 avr. 2025 02:15 |
| Citer en APA 7: | Cova, P., Masut, R. A., Grenier, O., & Poulin, S. (2002). Effect of unintentionally introduced oxygen on the electron-cyclotron resonance chemical-vapor deposition of SiNₓ films. Journal of Applied Physics, 92(1), 129-138. https://doi.org/10.1063/1.1483902 |
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