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Limits of 3-D nanostructures fabricated by focused electron beam (FEB) induced deposition

P. Hoffmann, I. Utke et Fabio Cicoira

Communication écrite (2002)

Document publié alors que les auteurs ou autrices n'étaient pas affiliés à Polytechnique Montréal

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URL de PolyPublie: https://publications.polymtl.ca/25854/
Nom de la conférence: 10th International Symposium on Nanostructures: Physics and Technology
Lieu de la conférence: USA
Date(s) de la conférence: 2002-06-17 - 2002-06-21
Maison d'édition: SPIE
DOI: 10.1117/12.510421
URL officielle: https://doi.org/10.1117/12.510421
Date du dépôt: 18 avr. 2023 15:20
Dernière modification: 25 sept. 2024 16:06
Citer en APA 7: Hoffmann, P., Utke, I., & Cicoira, F. (juin 2002). Limits of 3-D nanostructures fabricated by focused electron beam (FEB) induced deposition [Communication écrite]. 10th International Symposium on Nanostructures: Physics and Technology, USA. https://doi.org/10.1117/12.510421

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