P. Hoffmann, I. Utke et Fabio Cicoira
Communication écrite (2002)
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| URL de PolyPublie: | https://publications.polymtl.ca/25854/ |
|---|---|
| Nom de la conférence: | 10th International Symposium on Nanostructures: Physics and Technology |
| Lieu de la conférence: | USA |
| Date(s) de la conférence: | 2002-06-17 - 2002-06-21 |
| Maison d'édition: | SPIE |
| DOI: | 10.1117/12.510421 |
| URL officielle: | https://doi.org/10.1117/12.510421 |
| Date du dépôt: | 18 avr. 2023 15:20 |
| Dernière modification: | 25 sept. 2024 16:06 |
| Citer en APA 7: | Hoffmann, P., Utke, I., & Cicoira, F. (juin 2002). Limits of 3-D nanostructures fabricated by focused electron beam (FEB) induced deposition [Communication écrite]. 10th International Symposium on Nanostructures: Physics and Technology, USA. https://doi.org/10.1117/12.510421 |
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