Modeling electrical characteristics of laser tuned silicon microdevices

Michel Meunier, Mathieu Ducharme et Jean-Sébastien Bernier

Communication écrite (2003)

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Département:	Département de génie physique
URL de PolyPublie:	https://publications.polymtl.ca/25651/
Nom de la conférence:	Photon Processing in Microelectronics and Photonics II
Lieu de la conférence:	San Jose, Calif.
Date(s) de la conférence:	2003-01-27 - 2003-01-30
Maison d'édition:	International Society for Optical Engineering
DOI:	10.1117/12.479412
URL officielle:	https://doi.org/10.1117/12.479412
Date du dépôt:	18 avr. 2023 15:20
Dernière modification:	08 avr. 2025 02:14

Citer en APA 7:	Meunier, M., Ducharme, M., & Bernier, J.-S. (janvier 2003). Modeling electrical characteristics of laser tuned silicon microdevices [Communication écrite]. Photon Processing in Microelectronics and Photonics II, San Jose, Calif.. https://doi.org/10.1117/12.479412
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