Optical characteristics and color of TiN/SiN₁.₃ nanocomposite coatings

P. Jedrzejowski, B. Baloukas, Jolanta-Ewa Sapieha et Ludvik Martinu

Article de revue (2004)

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Département:	Département de génie physique
Centre de recherche:	GCM - Groupe de recherche en physique et technologie des couches minces
URL de PolyPublie:	https://publications.polymtl.ca/24945/
Titre de la revue:	Journal of vacuum science and technology. A, Vacuum, surfaces, and films (vol. 22, no 3)
Maison d'édition:	American Vacuum Society
DOI:	10.1116/1.1723252
URL officielle:	https://doi.org/10.1116/1.1723252
Date du dépôt:	18 avr. 2023 15:19
Dernière modification:	25 sept. 2024 16:04

Citer en APA 7:	Jedrzejowski, P., Baloukas, B., Sapieha, J.-E., & Martinu, L. (2004). Optical characteristics and color of TiN/SiN₁.₃ nanocomposite coatings. Journal of vacuum science and technology. A, Vacuum, surfaces, and films, 22(3), 725-733. https://doi.org/10.1116/1.1723252
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