P. Jedrzejowski, Jolanta-Ewa Sapieha
et Ludvik Martinu
Article de revue (2004)
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| Département: | Département de génie physique |
|---|---|
| URL de PolyPublie: | https://publications.polymtl.ca/24942/ |
| Titre de la revue: | Thin Solid Films (vol. 466, no 1-2) |
| Maison d'édition: | Elsevier |
| DOI: | 10.1016/j.tsf.2004.03.043 |
| URL officielle: | https://doi.org/10.1016/j.tsf.2004.03.043 |
| Date du dépôt: | 18 avr. 2023 15:19 |
| Dernière modification: | 25 sept. 2024 16:04 |
| Citer en APA 7: | Jedrzejowski, P., Sapieha, J.-E., & Martinu, L. (2004). Quaternary hard nanocomposite TiCₓNy/SiCN coatings prepared by plasma enhanced chemical vapor deposition. Thin Solid Films, 466(1-2), 189-196. https://doi.org/10.1016/j.tsf.2004.03.043 |
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