Quaternary hard nanocomposite TiCₓNy/SiCN coatings prepared by plasma enhanced chemical vapor deposition

P. Jedrzejowski, Jolanta-Ewa Sapieha, Ludvik Martinu

Article de revue (2004)

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Titre de la revue :
Thin Solid Films ( vol. 466 , no 1-2 )
Maison d'édition:
Elsevier
OAI:
oai:publications.polymtl.ca:24942
ORCID
Date du dépôt:
18 avr. 2023 15:19
Dernière modification:
14 oct. 2026 12:59
Citer en APA 7:
Jedrzejowski, P., Sapieha, J.-E., & Martinu, L. (2004). Quaternary hard nanocomposite TiCₓNy/SiCN coatings prepared by plasma enhanced chemical vapor deposition. Thin Solid Films, 466(1-2), 189-196. https://doi.org/10.1016/j.tsf.2004.03.043

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