Microstructure of plasma-deposited SiO₂/TiO₂ optical films

Stéphane Larouche, Hieronim Szymanowski, Jolanta-Ewa Sapieha, Ludvik Martinu, Subhash C. Gujrathi

Article de revue (2004)

Accéder à ce document
Lien externe
Ce document n'est pas archivé dans PolyPublie, mais peut être consulté chez l'éditeur officiel
Adresse URL de PolyPublie:
Titre de la revue :
Journal of vacuum science and technology. A, Vacuum, surfaces, and films ( vol. 22 , no 4 )
Maison d'édition:
American Vacuum Society
OAI:
oai:publications.polymtl.ca:24871
ORCID
Date du dépôt:
18 avr. 2023 15:19
Dernière modification:
14 oct. 2026 12:59
Citer en APA 7:
Larouche, S., Szymanowski, H., Sapieha, J.-E., Martinu, L., & Gujrathi, S. C. (2004). Microstructure of plasma-deposited SiO₂/TiO₂ optical films. Journal of vacuum science and technology. A, Vacuum, surfaces, and films, 22(4), 1200-1207. https://doi.org/10.1116/1.1763912

Statistiques

Dimensions

Actions réservées au personnel

Afficher document
Afficher document