Stéphane Larouche, Hieronim Szymanowski, Jolanta-Ewa Sapieha
, Ludvik Martinu et Subhash C. Gujrathi
Article de revue (2004)
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| Département: | Département de génie physique |
|---|---|
| Centre de recherche: | RQMP - Regroupement québécois sur les matériaux de pointe |
| URL de PolyPublie: | https://publications.polymtl.ca/24871/ |
| Titre de la revue: | Journal of vacuum science and technology. A, Vacuum, surfaces, and films (vol. 22, no 4) |
| Maison d'édition: | American Vacuum Society |
| DOI: | 10.1116/1.1763912 |
| URL officielle: | https://doi.org/10.1116/1.1763912 |
| Date du dépôt: | 18 avr. 2023 15:19 |
| Dernière modification: | 26 sept. 2024 11:52 |
| Citer en APA 7: | Larouche, S., Szymanowski, H., Sapieha, J.-E., Martinu, L., & Gujrathi, S. C. (2004). Microstructure of plasma-deposited SiO₂/TiO₂ optical films. Journal of vacuum science and technology. A, Vacuum, surfaces, and films, 22(4), 1200-1207. https://doi.org/10.1116/1.1763912 |
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