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Influence of ambient medium on femtosecond laser processing of silicon

S. Besner, Jean-Yves Degorce, Andrei Kabashin et Michel Meunier

Communication écrite (2004)

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Département: Département de génie physique
URL de PolyPublie: https://publications.polymtl.ca/24383/
Nom de la conférence: European Materials Research Society 2004 - Symposium N
Lieu de la conférence: Strasbourg, France
Date(s) de la conférence: 2004-05-24 - 2004-05-28
Titre de la revue: Applied Surface Science (vol. 247, no 1-4)
Maison d'édition: Elsevier
DOI: 10.1016/j.apsusc.2005.01.137
URL officielle: https://doi.org/10.1016/j.apsusc.2005.01.137
Date du dépôt: 18 avr. 2023 15:18
Dernière modification: 05 avr. 2024 11:10
Citer en APA 7: Besner, S., Degorce, J.-Y., Kabashin, A., & Meunier, M. (mai 2004). Influence of ambient medium on femtosecond laser processing of silicon [Communication écrite]. European Materials Research Society 2004 - Symposium N, Strasbourg, France. Publié dans Applied Surface Science, 247(1-4). https://doi.org/10.1016/j.apsusc.2005.01.137

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