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III-V Compliant Substrates Implemented by Nanocavities Introduced by Ion Implantation

M. Chicoine, C. Beaudoin, S. Roorda, Rémo A. Masut et Patrick Desjardins

Article de revue (2005)

Un lien externe est disponible pour ce document
Département: Département de génie physique
Centre de recherche: RQMP - Regroupement québécois sur les matériaux de pointe
URL de PolyPublie: https://publications.polymtl.ca/24276/
Titre de la revue: Journal of Applied Physics (vol. 97, no 6)
Maison d'édition: American Institute of Physics
DOI: 10.1063/1.1863457
URL officielle: https://doi.org/10.1063/1.1863457
Date du dépôt: 18 avr. 2023 15:18
Dernière modification: 26 sept. 2024 13:11
Citer en APA 7: Chicoine, M., Beaudoin, C., Roorda, S., Masut, R. A., & Desjardins, P. (2005). III-V Compliant Substrates Implemented by Nanocavities Introduced by Ion Implantation. Journal of Applied Physics, 97(6). https://doi.org/10.1063/1.1863457

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