III-V Compliant Substrates Implemented by Nanocavities Introduced by Ion Implantation

M. Chicoine, C. Beaudoin, S. Roorda, Rémo A. Masut et Patrick Desjardins

Article de revue (2005)

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Département:	Département de génie physique
URL de PolyPublie:	https://publications.polymtl.ca/24276/
Titre de la revue:	Journal of Applied Physics (vol. 97, no 6)
Maison d'édition:	American Institute of Physics
DOI:	10.1063/1.1863457
URL officielle:	https://doi.org/10.1063/1.1863457
Date du dépôt:	18 avr. 2023 15:18
Dernière modification:	05 avr. 2024 11:09

Citer en APA 7:	Chicoine, M., Beaudoin, C., Roorda, S., Masut, R. A., & Desjardins, P. (2005). III-V Compliant Substrates Implemented by Nanocavities Introduced by Ion Implantation. Journal of Applied Physics, 97(6). https://doi.org/10.1063/1.1863457
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