Jean-Numa Gillet, Jean-Yves Degorce, Michel Meunier
Article de revue (2005)
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Département:
Organismes subventionnaires:
NSERC/CRSNG
Adresse URL de PolyPublie:
Titre de la revue
:
Applied Physics Letters
(
vol.
86
,
no
22
)
Maison d'édition:
American Institute of Physics
DOI:
URL officielle:
OAI:
oai:publications.polymtl.ca:24118
ORCID
Date du dépôt:
18 avr. 2023 15:18
Dernière modification:
14 oct. 2026 12:58
Citer en APA 7:
Gillet, J.-N., Degorce, J.-Y., & Meunier, M. (2005). General Model and Segregation Coefficient Measurement for Ultrashallow Doping by Excimer Laser Annealing. Applied Physics Letters, 86(22). https://doi.org/10.1063/1.1927275
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