Jean-Numa Gillet, Jean-Yves Degorce et Michel Meunier
Article de revue (2005)
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| Département: | Département de génie physique |
|---|---|
| Organismes subventionnaires: | NSERC/CRSNG |
| URL de PolyPublie: | https://publications.polymtl.ca/24118/ |
| Titre de la revue: | Applied Physics Letters (vol. 86, no 22) |
| Maison d'édition: | American Institute of Physics |
| DOI: | 10.1063/1.1927275 |
| URL officielle: | https://doi.org/10.1063/1.1927275 |
| Date du dépôt: | 18 avr. 2023 15:18 |
| Dernière modification: | 05 avr. 2024 11:09 |
| Citer en APA 7: | Gillet, J.-N., Degorce, J.-Y., & Meunier, M. (2005). General Model and Segregation Coefficient Measurement for Ultrashallow Doping by Excimer Laser Annealing. Applied Physics Letters, 86(22). https://doi.org/10.1063/1.1927275 |
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