Ion-induced effects during reactive sputtering of ITO films

Oleg Zabeida, Jolanta-Ewa Sapieha, Ludvik Martinu

Communication écrite (2005)

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ISBN:
1591249090
Adresse URL de PolyPublie:
Nom de la conférence:
48th Society of Vacuum Coaters Technical Conference
Lieu de la conférence:
Denver, Colorado
Date(s) de la conférence:
2005-04-23 - 2005-04-28
OAI:
oai:publications.polymtl.ca:23515
ORCID
Date du dépôt:
18 avr. 2023 15:19
Dernière modification:
14 oct. 2026 12:57
Citer en APA 7:
Zabeida, O., Sapieha, J.-E., & Martinu, L. (avril 2005). Ion-induced effects during reactive sputtering of ITO films [Communication écrite]. 48th Society of Vacuum Coaters Technical Conference, Denver, Colorado. https://www.svc.org/clientuploads/directory/resource_library/05_192.pdf

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