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Ion-induced effects during reactive sputtering of ITO films

O. Zabeida, Jolanta-Ewa Sapieha et Ludvik Martinu

Communication écrite (2005)

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Département: Département de génie physique
URL de PolyPublie: https://publications.polymtl.ca/23515/
Nom de la conférence: 48th Society of Vacuum Coaters Technical Conference
Lieu de la conférence: Denver, Colorado
Date(s) de la conférence: 2005-04-23 - 2005-04-28
URL officielle: https://www.svc.org/clientuploads/directory/resour...
Date du dépôt: 18 avr. 2023 15:19
Dernière modification: 05 avr. 2024 11:08
Citer en APA 7: Zabeida, O., Sapieha, J.-E., & Martinu, L. (avril 2005). Ion-induced effects during reactive sputtering of ITO films [Communication écrite]. 48th Society of Vacuum Coaters Technical Conference, Denver, Colorado. https://www.svc.org/clientuploads/directory/resource_library/05_192.pdf

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