Laser induced formation of periodic nanostructures in silicon covered by SiO₂

Y. Liao, Jean-Yves Degorce et Michel Meunier

Article de revue (2006)

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Département:	Département de génie physique
URL de PolyPublie:	https://publications.polymtl.ca/22832/
Titre de la revue:	Applied Physics. A, Materials Science & Processing (vol. A82, no 4)
Maison d'édition:	Springer
DOI:	10.1007/s00339-005-3438-3
URL officielle:	https://doi.org/10.1007/s00339-005-3438-3
Date du dépôt:	18 avr. 2023 15:17
Dernière modification:	25 sept. 2024 16:02

Citer en APA 7:	Liao, Y., Degorce, J.-Y., & Meunier, M. (2006). Laser induced formation of periodic nanostructures in silicon covered by SiO₂. Applied Physics. A, Materials Science & Processing, A82(4), 679-682. https://doi.org/10.1007/s00339-005-3438-3
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