Laser induced formation of periodic nanostructures in silicon covered by SiO₂

Y. Liao, Jean-Yves Degorce, Michel Meunier

Article de revue (2006)

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Titre de la revue :
Applied Physics. A, Materials Science & Processing ( vol. A82 , no 4 )
Maison d'édition:
Springer
OAI:
oai:publications.polymtl.ca:22832
ORCID
Date du dépôt:
18 avr. 2023 15:17
Dernière modification:
14 oct. 2026 12:56
Citer en APA 7:
Liao, Y., Degorce, J.-Y., & Meunier, M. (2006). Laser induced formation of periodic nanostructures in silicon covered by SiO₂. Applied Physics. A, Materials Science & Processing, A82(4), 679-682. https://doi.org/10.1007/s00339-005-3438-3

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