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Room temperature air oxidation of nanostructured Si thin films with varying porosities as studied by X-ray photoelectron spectroscopy

D.-Q. Yang, Michel Meunier et Edward Sacher

Article de revue (2006)

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Département: Département de génie physique
URL de PolyPublie: https://publications.polymtl.ca/22383/
Titre de la revue: Journal of Applied Physics (vol. 99, no 8)
Maison d'édition: American Institute of Physics
DOI: 10.1063/1.2193168
URL officielle: https://doi.org/10.1063/1.2193168
Date du dépôt: 18 avr. 2023 15:18
Dernière modification: 05 avr. 2024 11:06
Citer en APA 7: Yang, D.-Q., Meunier, M., & Sacher, E. (2006). Room temperature air oxidation of nanostructured Si thin films with varying porosities as studied by X-ray photoelectron spectroscopy. Journal of Applied Physics, 99(8), 084315-1-084315-6. https://doi.org/10.1063/1.2193168

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