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Holes effects on RF MEMS parallel membranes capacitors

A. Bendali, Rafael Labedan, Frederic Domingue et Vahé Nerguizian

Communication écrite (2006)

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Département: Département de génie électrique
URL de PolyPublie: https://publications.polymtl.ca/22239/
Nom de la conférence: 2006 Canadian Conference on Electrical and Computer Engineering, CCECE'06
Lieu de la conférence: Ottawa, ON, Canada
Date(s) de la conférence: 2006-05-07 - 2006-05-10
Maison d'édition: IEEE
DOI: 10.1109/ccece.2006.277600
URL officielle: https://doi.org/10.1109/ccece.2006.277600
Date du dépôt: 18 avr. 2023 15:16
Dernière modification: 22 avr. 2024 14:30
Citer en APA 7: Bendali, A., Labedan, R., Domingue, F., & Nerguizian, V. (mai 2006). Holes effects on RF MEMS parallel membranes capacitors [Communication écrite]. 2006 Canadian Conference on Electrical and Computer Engineering, CCECE'06, Ottawa, ON, Canada. https://doi.org/10.1109/ccece.2006.277600

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