J. Čížek, J. Vlček, Š. Potocký, J. Houška, Z. Soukup, J. Kalaš, Pawel Jedrzejowski, Jolanta-Ewa Sapieha
et Ludvik Martinu
Article de revue (2008)
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| Département: | Département de génie physique |
|---|---|
| Centre de recherche: | GCM - Groupe de recherche en physique et technologie des couches minces |
| URL de PolyPublie: | https://publications.polymtl.ca/20931/ |
| Titre de la revue: | Thin Solid Films (vol. 516, no 21) |
| Maison d'édition: | Elsevier |
| DOI: | 10.1016/j.tsf.2007.12.156 |
| URL officielle: | https://doi.org/10.1016/j.tsf.2007.12.156 |
| Date du dépôt: | 18 avr. 2023 15:15 |
| Dernière modification: | 25 sept. 2024 15:59 |
| Citer en APA 7: | Čížek, J., Vlček, J., Potocký, Š., Houška, J., Soukup, Z., Kalaš, J., Jedrzejowski, P., Sapieha, J.-E., & Martinu, L. (2008). Mechanical and Optical Properties of Quaternary Si-B-C-N Films Prepared by Reactive Magnetron Sputtering. Thin Solid Films, 516(21), 7286-7293. https://doi.org/10.1016/j.tsf.2007.12.156 |
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