Mechanical and Optical Properties of Quaternary Si-B-C-N Films Prepared by Reactive Magnetron Sputtering

J. Čížek, J. Vlček, Š. Potocký, J. Houška, Z. Soukup, J. Kalaš, Pawel Jedrzejowski, Jolanta-Ewa Sapieha et Ludvik Martinu

Article de revue (2008)

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Département:	Département de génie physique
Centre de recherche:	GCM - Groupe de recherche en physique et technologie des couches minces
URL de PolyPublie:	https://publications.polymtl.ca/20931/
Titre de la revue:	Thin Solid Films (vol. 516, no 21)
Maison d'édition:	Elsevier
DOI:	10.1016/j.tsf.2007.12.156
URL officielle:	https://doi.org/10.1016/j.tsf.2007.12.156
Date du dépôt:	18 avr. 2023 15:15
Dernière modification:	25 sept. 2024 15:59

Citer en APA 7:	Čížek, J., Vlček, J., Potocký, Š., Houška, J., Soukup, Z., Kalaš, J., Jedrzejowski, P., Sapieha, J.-E., & Martinu, L. (2008). Mechanical and Optical Properties of Quaternary Si-B-C-N Films Prepared by Reactive Magnetron Sputtering. Thin Solid Films, 516(21), 7286-7293. https://doi.org/10.1016/j.tsf.2007.12.156
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