Mechanical and Optical Properties of Quaternary Si-B-C-N Films Prepared by Reactive Magnetron Sputtering

Čížek, J.; Vlček, J.; Potocký, Š.; Houška, J.; Soukup, Z.; Kalaš, J.; Jedrzejowski, Pawel; Sapieha, Jolanta-Ewa; Martinu, Ludvik; Čížek, J.; Vlček, J.; Potocký, Š.; Houška, J.; Soukup, Z.; Kalaš, J.; Jedrzejowski, Pawel; Sapieha, Jolanta-Ewa; Martinu, Ludvik

Mechanical and Optical Properties of Quaternary Si-B-C-N Films Prepared by Reactive Magnetron Sputtering

J. Čížek, J. Vlček, Š. Potocký, J. Houška, Z. Soukup, J. Kalaš, Pawel Jedrzejowski, Jolanta-Ewa Sapieha , Ludvik Martinu

Article de revue (2008)

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Département:

Département de génie physique

Unité de recherche:

GCM - Groupe de recherche en physique et technologie des couches minces

Adresse URL de PolyPublie:

https://publications.polymtl.ca/20931/

Titre de la revue :

Thin Solid Films ( vol. 516 , no 21 )

Maison d'édition:

Elsevier

DOI:

10.1016/j.tsf.2007.12.156

URL officielle:

https://doi.org/10.1016/j.tsf.2007.12.156

OAI:

oai:publications.polymtl.ca:20931

ORCID

Date du dépôt:

18 avr. 2023 15:15

Dernière modification:

14 oct. 2026 12:53

Citer en APA 7:

Čížek, J., Vlček, J., Potocký, Š., Houška, J., Soukup, Z., Kalaš, J., Jedrzejowski, P., Sapieha, J.-E., & Martinu, L. (2008). Mechanical and Optical Properties of Quaternary Si-B-C-N Films Prepared by Reactive Magnetron Sputtering. Thin Solid Films, 516(21), 7286-7293. https://doi.org/10.1016/j.tsf.2007.12.156

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