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Time- and Species-resolved Plasma Imaging as a New Diagnostic Approach for HiPIMS Discharge Characterization

Matěj Hala, Oleg Zabeida, Bill Baloukas, Jolanta-Ewa Sapieha et Ludvik Martinu

Article de revue (2010)

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Département: Département de génie physique
Centre de recherche: LaRFIS - Laboratoire des Revêtements Fonctionnels et Ingénierie des Surfaces
URL de PolyPublie: https://publications.polymtl.ca/18216/
Titre de la revue: IEEE Transactions on Plasma Science (vol. 38, no 11)
Maison d'édition: IEEE
DOI: 10.1109/tps.2010.2064183
URL officielle: https://doi.org/10.1109/tps.2010.2064183
Date du dépôt: 18 avr. 2023 15:13
Dernière modification: 25 sept. 2024 15:56
Citer en APA 7: Hala, M., Zabeida, O., Baloukas, B., Sapieha, J.-E., & Martinu, L. (2010). Time- and Species-resolved Plasma Imaging as a New Diagnostic Approach for HiPIMS Discharge Characterization. IEEE Transactions on Plasma Science, 38(11), 3035-3039. https://doi.org/10.1109/tps.2010.2064183

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