Time- and Species-resolved Plasma Imaging as a New Diagnostic Approach for HiPIMS Discharge Characterization

Matěj Hala, Oleg Zabeida, Bill Baloukas, Jolanta-Ewa Sapieha, Ludvik Martinu

Article de revue (2010)

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Département:
Département de génie physique
Unité de recherche:
LaRFIS - Laboratoire des Revêtements Fonctionnels et Ingénierie des Surfaces
Adresse URL de PolyPublie:
https://publications.polymtl.ca/18216/
Titre de la revue :
IEEE Transactions on Plasma Science ( vol. 38 , no 11 )
Maison d'édition:
IEEE
DOI:
10.1109/tps.2010.2064183
URL officielle:
https://doi.org/10.1109/tps.2010.2064183
OAI:
oai:publications.polymtl.ca:18216
ORCID
Date du dépôt:
18 avr. 2023 15:13
Dernière modification:
14 oct. 2026 11:21
Citer en APA 7:
Hala, M., Zabeida, O., Baloukas, B., Sapieha, J.-E., & Martinu, L. (2010). Time- and Species-resolved Plasma Imaging as a New Diagnostic Approach for HiPIMS Discharge Characterization. IEEE Transactions on Plasma Science, 38(11), 3035-3039. https://doi.org/10.1109/tps.2010.2064183

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