Micromachining by CO₂ laser ablation: building blocks for a multiport integrated device

Vázquez, G. V.; Harhira, A.; Kashyap, Raman; Bosisio, Rénato; Vázquez, G. V.; Harhira, A.; Kashyap, Raman; Bosisio, Rénato

Micromachining by CO₂ laser ablation: building blocks for a multiport integrated device

G. V. Vázquez, A. Harhira, Raman Kashyap , Rénato Bosisio

Article de revue (2010)

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Département:

Département de génie électrique

Unité de recherche:

GR2M - Groupe de recherche en microélectronique et microsystèmes

Adresse URL de PolyPublie:

https://publications.polymtl.ca/17480/

Titre de la revue :

Optics Communications ( vol. 283 , no 14 )

Maison d'édition:

Elsevier

DOI:

10.1016/j.optcom.2010.03.047

URL officielle:

https://doi.org/10.1016/j.optcom.2010.03.047

OAI:

oai:publications.polymtl.ca:17480

ORCID

Date du dépôt:

18 avr. 2023 15:14

Dernière modification:

14 oct. 2026 11:20

Citer en APA 7:

Vázquez, G. V., Harhira, A., Kashyap, R., & Bosisio, R. (2010). Micromachining by CO₂ laser ablation: building blocks for a multiport integrated device. Optics Communications, 283(14), 2824-2828. https://doi.org/10.1016/j.optcom.2010.03.047

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