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Morphological stability and specific resistivity of sub-10 nm silicide films of Ni1-xPtx on Si substrate

Zhen Zhang, Shi-Li Zhang, Bin Yang, Yu Zhu, Stephen M. Rossnagel, Simon Gaudet, Andrew J. Kellock, Jean Jordan-Sweet et Christian Lavoie

Article de revue (2010)

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Département: Département de génie physique
URL de PolyPublie: https://publications.polymtl.ca/17403/
Titre de la revue: Applied Physics Letters (vol. 96, no 7)
Maison d'édition: American Institute of Physics
DOI: 10.1063/1.3323097
URL officielle: https://doi.org/10.1063/1.3323097
Date du dépôt: 18 avr. 2023 15:14
Dernière modification: 25 sept. 2024 15:55
Citer en APA 7: Zhang, Z., Zhang, S.-L., Yang, B., Zhu, Y., Rossnagel, S. M., Gaudet, S., Kellock, A. J., Jordan-Sweet, J., & Lavoie, C. (2010). Morphological stability and specific resistivity of sub-10 nm silicide films of Ni1-xPtx on Si substrate. Applied Physics Letters, 96(7), 071915-071915. https://doi.org/10.1063/1.3323097

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