Maurine Malak, Nicolas Pavy, Frédéric Marty, Yves-Alain Peter
, A. Q. Liu et Tarik Bourouina
Communication écrite (2011)
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| Département: | Département de génie physique |
|---|---|
| ISBN: | 9781424496327 |
| URL de PolyPublie: | https://publications.polymtl.ca/16522/ |
| Nom de la conférence: | 24th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS 2011) |
| Lieu de la conférence: | Cancun, Mexico |
| Date(s) de la conférence: | 2011-01-23 - 2011-01-27 |
| Maison d'édition: | Institute of Electrical and Electronics Engineers |
| DOI: | 10.1109/memsys.2011.5734526 |
| URL officielle: | https://doi.org/10.1109/memsys.2011.5734526 |
| Date du dépôt: | 18 avr. 2023 15:12 |
| Dernière modification: | 08 avr. 2025 12:19 |
| Citer en APA 7: | Malak, M., Pavy, N., Marty, F., Peter, Y.-A., Liu, A. Q., & Bourouina, T. (janvier 2011). Stable, high-Q fabry-perot resonators with long cavity based on curved, all-silicon, high reflectance mirrors [Communication écrite]. 24th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS 2011), Cancun, Mexico. https://doi.org/10.1109/memsys.2011.5734526 |
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