<  Retour au portail Polytechnique Montréal

The 'Recycling Trap': a Generalized Explanation of Discharge Runaway in High-Power Impulse Magnetron Sputtering

A. Anders, J. Capek, M. Hala et Ludvik Martinu

Article de revue (2012)

Un lien externe est disponible pour ce document
Département: Département de génie physique
URL de PolyPublie: https://publications.polymtl.ca/15881/
Titre de la revue: Journal of Physics D: Applied Physics (vol. 45, no 1)
Maison d'édition: IOP Publishing
DOI: 10.1088/0022-3727/45/1/012003
URL officielle: https://doi.org/10.1088/0022-3727/45/1/012003
Date du dépôt: 18 avr. 2023 15:10
Dernière modification: 25 sept. 2024 15:53
Citer en APA 7: Anders, A., Capek, J., Hala, M., & Martinu, L. (2012). The 'Recycling Trap': a Generalized Explanation of Discharge Runaway in High-Power Impulse Magnetron Sputtering. Journal of Physics D: Applied Physics, 45(1), 5-5. https://doi.org/10.1088/0022-3727/45/1/012003

Statistiques

Dimensions

Actions réservées au personnel

Afficher document Afficher document