The 'Recycling Trap': a Generalized Explanation of Discharge Runaway in High-Power Impulse Magnetron Sputtering

A. Anders, Jiří Čapek, M. Hála, Ludvik Martinu

Article de revue (2012)

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Titre de la revue :
Journal of Physics D: Applied Physics ( vol. 45 , no 1 )
Maison d'édition:
IOP Publishing
OAI:
oai:publications.polymtl.ca:15881
ORCID
Date du dépôt:
18 avr. 2023 15:10
Dernière modification:
14 oct. 2026 11:17
Citer en APA 7:
Anders, A., Čapek, J., Hála, M., & Martinu, L. (2012). The 'Recycling Trap': a Generalized Explanation of Discharge Runaway in High-Power Impulse Magnetron Sputtering. Journal of Physics D: Applied Physics, 45(1), 5-5. https://doi.org/10.1088/0022-3727/45/1/012003

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