Heterointegration of compound III-V semiconductors by wafer bonding and layer splitting for optoelectronic applications

Helmut Baumgart et Oussama Moutanabbir

Communication écrite (2012)

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Département:	Département de génie physique
URL de PolyPublie:	https://publications.polymtl.ca/15819/
Nom de la conférence:	2012 3rd IEEE International Workshop on Low Temperature Bonding for 3D Integration, LTB-3D 2012
Lieu de la conférence:	Tokyo, Japan
Date(s) de la conférence:	2012-05-22 - 2012-05-23
Maison d'édition:	IEEE
DOI:	10.1109/ltb-3d.2012.6238092
URL officielle:	https://doi.org/10.1109/ltb-3d.2012.6238092
Date du dépôt:	18 avr. 2023 15:10
Dernière modification:	05 avr. 2024 10:56

Citer en APA 7:	Baumgart, H., & Moutanabbir, O. (mai 2012). Heterointegration of compound III-V semiconductors by wafer bonding and layer splitting for optoelectronic applications [Communication écrite]. 2012 3rd IEEE International Workshop on Low Temperature Bonding for 3D Integration, LTB-3D 2012, Tokyo, Japan. https://doi.org/10.1109/ltb-3d.2012.6238092
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