Effect of postdeposition annealing on the structure, composition, and the mechanical and optical characteristics of niobium and tantalum oxide films

E. Cetinorgu-Goldenberg, Jolanta-Ewa Sapieha et Ludvik Martinu

Article de revue (2012)

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Département:	Département de génie physique
URL de PolyPublie:	https://publications.polymtl.ca/15680/
Titre de la revue:	Applied Optics (vol. 51, no 27)
Maison d'édition:	Optical Society of America
DOI:	10.1364/ao.51.006498
URL officielle:	https://doi.org/10.1364/ao.51.006498
Date du dépôt:	18 avr. 2023 15:10
Dernière modification:	25 sept. 2024 15:53

Citer en APA 7:	Cetinorgu-Goldenberg, E., Sapieha, J.-E., & Martinu, L. (2012). Effect of postdeposition annealing on the structure, composition, and the mechanical and optical characteristics of niobium and tantalum oxide films. Applied Optics, 51(27), 6498-6507. https://doi.org/10.1364/ao.51.006498
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