Documents publiés en "2013"

Département de génie physique

Capek, J., Hala, M., Zabeida, O., Sapieha, J.-E., & Martinu, L. (2013). Deposition rate enhancement in HiPIMS without compromising the ionized fraction of the deposition flux. Journal of Physics D: Applied Physics, 46(20), 10 pages. Lien externe