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Raveh, A., Danon, A., Hayon, J., Rubinshtein, A., Shneck, R., Sapieha, J.-E., & Martinu, L. (2001). Characterization of Carburized Tantalum Layers Prepared in Inductive Rf Plasma. Thin Solid Films, 392(1), 56-64. Lien externe

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