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Chun, J.-S., Desjardins, P., Petrov, I., Greene, J. E., Lavoie, C., & Cabral, C. J. (2001). Interfacial reaction pathways and kinetics during annealing of epitaxial Al(001)/TiN(001) model diffusion barrier systems. Thin Solid Films, 391(1), 69-80. Lien externe

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