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Beïque, G., Caron, M., Currie, J. F., & Meunier, M. (1995). Caractérisation structurale de couches minces de silicium polycristallin fabriquées par dépôt chimique en phase vapeur sous basse pression du SiH₄ et dopées en phosphore in situ. [Structural characterization of polysilicon thin-films fabricated by low-pressure chemical-deposition of silane and doped in-situ with phosphorus]. Canadian Journal of Physics, 73(7-8), 526-529. Lien externe
