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Caractérisation structurale de couches minces de silicium polycristallin fabriquées par dépôt chimique en phase vapeur sous basse pression du SiH₄ et dopées en phosphore in situ

Geneviève Beïque, Mario Caron, John F. Currie and Michel Meunier

Article (1995)

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Department: Department of Engineering Physics
PolyPublie URL: https://publications.polymtl.ca/32588/
Journal Title: Canadian Journal of Physics (vol. 73, no. 7-8)
Publisher: Canadian Science Publishing
DOI: 10.1139/p95-076
Official URL: https://doi.org/10.1139/p95-076
Date Deposited: 18 Apr 2023 15:24
Last Modified: 05 Apr 2024 11:23
Cite in APA 7: Beïque, G., Caron, M., Currie, J. F., & Meunier, M. (1995). Caractérisation structurale de couches minces de silicium polycristallin fabriquées par dépôt chimique en phase vapeur sous basse pression du SiH₄ et dopées en phosphore in situ. [Structural characterization of polysilicon thin-films fabricated by low-pressure chemical-deposition of silane and doped in-situ with phosphorus]. Canadian Journal of Physics, 73(7-8), 526-529. https://doi.org/10.1139/p95-076

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