Documents publiés en "1989"

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Blain, S. (1989). Fabrication et caractérisation de couches-minces a-SiOxNy:H préparées par plasma hyperfréquentiel [Mémoire de maîtrise, Polytechnique Montréal]. Disponible

Blain, S., Sapieha, J.-E., Wertheimer, M. R., & Gujrathi, S. C. (1989). Silicon oxynitride from microwave plasma: fabrication and characterization. Canadian Journal of Physics, 67(4), 190-194. Lien externe