Silicon oxynitride from microwave plasma: fabrication and characterization

S. Blain, Jolanta-Ewa Sapieha, Michael R. Wertheimer et S. C. Gujrathi

Article de revue (1989)

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Département:	Département de génie physique
URL de PolyPublie:	https://publications.polymtl.ca/38143/
Titre de la revue:	Canadian Journal of Physics (vol. 67, no 4)
Maison d'édition:	Canadian Science Publishing
DOI:	10.1139/p89-033
URL officielle:	https://doi.org/10.1139/p89-033
Date du dépôt:	18 avr. 2023 15:26
Dernière modification:	05 avr. 2024 11:32

Citer en APA 7:	Blain, S., Sapieha, J.-E., Wertheimer, M. R., & Gujrathi, S. C. (1989). Silicon oxynitride from microwave plasma: fabrication and characterization. Canadian Journal of Physics, 67(4), 190-194. https://doi.org/10.1139/p89-033
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