Stéphane Blain, Jolanta-Ewa Sapieha
, Michael R. Wertheimer, S. C. Gujrathi
Article de revue (1989)
Accéder à ce document
Lien externe
Ce document n'est pas archivé dans PolyPublie, mais peut être consulté chez l'éditeur officiel
Département:
Adresse URL de PolyPublie:
Titre de la revue
:
Canadian Journal of Physics
(
vol.
67
,
no
4
)
Maison d'édition:
Canadian Science Publishing
DOI:
URL officielle:
OAI:
oai:publications.polymtl.ca:38143
ORCID
Date du dépôt:
18 avr. 2023 15:26
Dernière modification:
14 oct. 2026 13:29
Citer en APA 7:
Blain, S., Sapieha, J.-E., Wertheimer, M. R., & Gujrathi, S. C. (1989). Silicon oxynitride from microwave plasma: fabrication and characterization. Canadian Journal of Physics, 67(4), 190-194. https://doi.org/10.1139/p89-033
Statistiques
Dimensions
