Monter d'un niveau |
Rabiller, P., Blain, S., Sapieha, J.-E., Wertheimer, M. R., & Yelon, A. (juin 1988). Electrical properties of PECVD SiO/sub x/N/sub y/:H prepared by microwave plasma [Communication écrite]. IEEE International Symposium on Electrical Insulation. Lien externe