Electrical properties of PECVD SiO/sub x/N/sub y/:H prepared by microwave plasma

Rabiller, Philippe; Blain, Stéphane; Sapieha, Jolanta-Ewa; Wertheimer, Michael R.; Yelon, Arthur; Rabiller, Philippe; Blain, Stéphane; Sapieha, Jolanta-Ewa; Wertheimer, Michael R.; Yelon, Arthur

Electrical properties of PECVD SiO/sub x/N/sub y/:H prepared by microwave plasma

Philippe Rabiller, Stéphane Blain, Jolanta-Ewa Sapieha , Michael R. Wertheimer , Arthur Yelon

Communication écrite (1988)

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Département:

Département de génie physique

Adresse URL de PolyPublie:

https://publications.polymtl.ca/38209/

Nom de la conférence:

IEEE International Symposium on Electrical Insulation

Date(s) de la conférence:

1988-06-05 - 1988-06-08

Maison d'édition:

IEEE

DOI:

10.1109/elinsl.1988.13890

URL officielle:

https://doi.org/10.1109/elinsl.1988.13890

OAI:

oai:publications.polymtl.ca:38209

ORCID

Date du dépôt:

18 avr. 2023 15:26

Dernière modification:

14 oct. 2026 13:29

Citer en APA 7:

Rabiller, P., Blain, S., Sapieha, J.-E., Wertheimer, M. R., & Yelon, A. (juin 1988). Electrical properties of PECVD SiO/sub x/N/sub y/:H prepared by microwave plasma [Communication écrite]. IEEE International Symposium on Electrical Insulation. https://doi.org/10.1109/elinsl.1988.13890

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