Documents dont le centre de recherche est "GCM - Groupe de recherche en physique et technologie des couches minces"

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Article de revue

Wertheimer, M. R., & Moisan, M. (1985). Comparison of microwave and lower frequency plasmas for thin film deposition and etching. Journal of vacuum science and technology. A, Vacuum, surfaces, and films, 3(6), 2643-2649. Lien externe

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