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Documents dont l'auteur est "Lavallée, E."

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Drouin, D., Beauvais, J., Lemire, R., Lavallée, E., Gauvin, R., & Caron, M. (1997). Method for fabricating submicron silicide structures on silicon using a resistless electron beam lithography process. Applied Physics Letters, 70(22), 3020-3022. Lien externe

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